电子化学品

助力高性能器件

低α粒子封装方案对于高性能半导体器件的可靠生产至关重要。

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优质而可靠

霍尼韦尔电子化学品部门 (HEC) 采用了卓越的产品质量控制,以确保所提供产品的可靠性以及在客户应用中的高性能。

半导体工业对于高纯化学品的需求持续增长。满足这些不断增长的需求需要有可靠的供应基础。作为一家高纯度工艺化学品垂直集成基础制造商,我们可为您提供所需要的优质产品。

我们高度灵活而高效的生产设施可以为客户提供各种各样的包装尺寸和体积(包括瓶装和散装Isotainer容器等)选择。

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超高纯度,满足您的需求

我们主要为电子工业生产多样的超高纯度 (UHP) 化学品。我们在半导体工业的特定应用产品方面已经建立起了广泛的产品基础。

酸和碱

这些是湿法工艺的支柱。随着器件几何尺寸不断缩减,降低缺陷密度所需的工作量与日俱增,从而使得对于超高纯度化学品的需求也越来越大。我们在这些化学品生产和提纯方面拥有30多年的经验,可以提供不纯度低至万亿分之一 (ppt) 的制成品。

蚀刻剂混合物

蚀刻剂混合物可以有选择性地均匀除去基质,而不会对下层造成损坏,这对于晶圆制造至关重要。我们在蚀刻剂混合方面的专业技能涉及从主流蚀刻剂直到为客户特殊应用定制开发和生产独特混合物等领域。这些混合物均可获益于我们基础产品的高纯度等级。

溶剂

溶剂和溶剂混合物被广泛用于半导体工业的各个方面,比如用于设备清洗、晶圆烘干和基质沉淀或去除。我们可提供丰富的高纯溶剂产品,以满足电子产品市场的需求。

清洗化学品

清洗化学品对于降低缺陷密度和提高产量来说都至关重要。我们在清洗化学品混合物方面进行创新,制造出的新型混合物不仅能降低拥有成本,而且更加环保并且着眼于新的互连/绝缘体材料。无论是在热处理之前对晶圆表面进行预处理、对基质进行沉淀还是去除先前操作的残留物,HEC都能确保生产工艺所需要的高可靠性。此外,还可以为您提供专用混合物。

等级 SEMI标准 器件尺寸
XLSI 相当于SEMI标准4级 建议用于0.09 – 0.20 µm工艺 痕量金属 < 0.1 ppt
SLSI 相当于SEMI标准3级 建议用于0.20 – 0.80 µm工艺 痕量金属 < 1 ppb
ULSI 相当于SEMI标准2级 建议用于0.80 – 1.20 µm工艺 痕量金属 < 10 ppb
VLSI 相当于SEMI标准VLSI 建议用于0.80 – 1.20 µm工艺 痕量金属 < 50 ppb,适用于绝大多数元件(视具体化学属性而定)
SEMI/EG 相当于SEMI标准1级 建议用于 > 1.20 µm工艺,用于标准应用和分立器件的生产

package-electronic-chem-inset供应链

无论何时何地,我们都能高效地为您提供所需要的超高纯度产品。霍尼韦尔电子化学品部不仅具有专利的封装技术,而且还有能力优化您的货运成本,并且在从出厂到使用的整个过程中保持产品纯度。我们的化学品容器和处理系统既能更大程度保证安全和便捷性,又能保持产品的高纯度。

霍尼韦尔电子化学品部已经开发出了成本更低、可编码的专利快速连接接头系统。

我们还设计出了新型可回收低成本COEX桶和IBC/长条袋,适用于单程或往返运送高纯度产品。

快速连接接头

快速连接接头兼容工业标准包装。可以保护搬运化学品的人员,并在整个生产周期中维持产品纯度和质量。

霍尼韦尔快速连接系统的特性:
• 所有组件都是塑料材料。
• 垫圈由抗化学腐蚀的氟橡胶制成。
• 可使用止回阀将分配头封锁住。
• 可以为相应的化学品进行编码。
• 适用于容器螺纹的标准化接头。
• 满足甚至超出高纯电子化学品的操作标准。

采用注模工艺生产,为您保持低成本

可以提供特殊应用所需要的导电型产品。

安全而环保

HEM产品的安全操作和运输对于您的运营至关重要。数十年的经验、严格的管理策略和操作规范使得我们能够安全地为您生产和包装产品。在您的生产设施中,我们也同样可以帮助您确保安全。

我们满足甚至超过了所有地方和联邦安全与环境指南的要求。我们的生产设施更大限度地减少了废料处理,并且不断在寻找更好的改进方法。我们还制定了容器管理和回收过程规范大限度地延长容器寿命。

wafer-clean-room-electronic-chemicals精确分析支撑产品完整性

霍尼韦尔电子化学品部的生产设施中拥有先进的分析能力。我们还开发了专用计量技术,可以非常灵敏的检测极限进行分析(低至5 ppt等级)。

基本条件和能力是湿法加工工艺的支柱。随着器件几何尺寸不断缩减,降低缺陷密度所需的工作量与日俱增,从而使得对于超高纯度化学品的需求也越来越大。我们在这些化学品生产和提纯方面拥有30多年的经验,可以提供不纯度低至万亿分之一 (ppt) 的制成品。

• 现场实验室经过10000级洁净室认证
• 取样在100级和10级环境中进行操作和制备
• 各种高纯化学品的检测等级可从1 ppb到5 ppt(视取样制备和分析工艺而定)
• 各种高纯化学品的检测等级可从1 ppb到5 ppt(视取样制备和分析工艺而定)
• 尺寸研究、相关性研究以及加标回收均可追溯至NIST标准,从而可确保更高的精度
• 所有分析数据都保存在实验室数据库中,并可进行关联制图